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ZJ系列罗茨真空泵停机程序:
1、关闭前级油封机械泵气镇阀(如果前级泵在使用时为开气镇阀)。
2、关闭罗茨真空泵进气阀。
3、逐级停机械增压泵,后停前级泵,气冷式罗茨真空泵哪里有卖,严禁搞错停机程序。
4、在停前级泵的同时,立即向前级泵进气口放气。
5、关闭冷却水进水阀。
6、如果需要长时间停止使用,或在冬天为防止冻裂,则必须将冷却水套内剩水放尽。


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真空腔室的模块化设计和加工
该设备属生产设备,主要功能包括:钛/锆磁控溅 射镀装饰膜,反应膜、复合膜。其它功能还包括:行星旋转基片台、负偏压辅助沉积、PLC+HMI真空自动/手动控 制、水冷循环及断水保护系统,预留多个标准接口。真空腔室的模块化设计和加工。通过此项技术提高了腔室设计和加工效率,提高了重大部件的加工质量和互换性,缩短了整条线的交货周期。使用高性能旋转阴极和中频电源,大蒸发电流达到400A,大大提高生产效率及膜层性能;通过辅助5段供气,提高真空环境工艺气体分布均匀性,提高膜层质量;安装整体式模块化阴极屏蔽挡板,大大减少维修时间,怀化罗茨真空泵哪里有卖,降低维修成本。阴极采用隔离冷却装置,改变以往阴极磁钢因工作在循环水中不断吸附杂质而影响磁场强度和寿命。新方法使磁钢工作在真空环境,大大提高了阴极稳定性和寿命。采用自主研发的倾斜式磁钢矩阵排列,扩大了阴极靶材表面气隙场范围,增大了靶材被刻蚀溅射的面积,提高靶材的利用率和均匀性。表面气隙场水平分量均匀性在±2%以内。使用自主研发的三维空间磁场测量分析系统,系统用于测量磁钢阵列的空间气隙场分布及磁钢安装、调整,为阴极研发提供有效的技术手段。触摸屏+PLC,造纸用罗茨真空泵哪里有卖,可以实现电脑全自动控制,自动/手动随时切换。同时配备先进的圆柱磁控溅射装置和高效的电阻加热蒸发装置,将磁控溅射技术和加热蒸发技术的有效结合,使设备的适用范围更广,可得到多种不同性能的膜层;独特的双门(室)结构,使工件及镀料的装卸与镀膜可同时进行,大大提高工作效率。


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茨真空泵的作用
罗茨真空泵又叫机械增压泵,普通罗茨真空泵并不能直接用来抽气。它的用途类似于管道增压泵,在其他真空泵(如:水环真空泵,往复真空泵,旋片真空泵,水喷射真空罗茨真空泵哪里有卖,螺杆真空泵等)抽气量或者真空度不足的情况下,串联进一台或者多台罗茨真空泵,在原有真空泵已经抽到一定真空度的前提下,进一步提升抽气量和真空度。
通过合理的配置,还起到节能的作用。
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